超音波非破壞姓檢測實驗儀器系統，內有無塵室﹑ＲＴＡ、高解析度示波器、電壓放大器、脈衝回波產生儀、射頻放大器、射頻迴轉器、網路分析儀，可做超音波及電子原件分析﹔及高均勻度光阻旋塗設備﹑高溫均勻加熱設備﹑奈米曝光滾輪旋轉儀、高準值度ＵＶ平行曝光機、高精度位移平台系統、V(fz)散焦量測系統，可做微米結構金屬滾輪。