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NSAP 實驗室主持人 李永春 教授

Dr. Yung-Chun Lee 國立成功大學 機械系 固體力學組

NSAP 實驗室

機械工程學系 聲光電暨奈米微結構實驗室 Nano Structure and Applied Physics Lab ( NSAP )

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榮譽獎項 Awards

2009

Best Paper Award
2009

Best Paper Award of the Conference
2007

96年度學生論文獎固力材料組第一名
2007

95學年度指導大專生參與國科會專題計畫研究創作獎
2004

中華民國力學學會期刊論文第三名
2007

2007年 95學年度教學優良教師獎
2007

2007年 第三屆旗勝盃創意競賽銀牌獎
2004

2004年 第一屆上銀科技機械碩士論文獎、佳作獎
2017

李永春教授榮獲 李國鼎科技與人文講座 - 金質獎
2017

上銀機械碩士論文獎 - 以光纖陣列為基礎之數位式滾筒模仁製程技術 佳作獎
2018

科技部106年度傑出研究獎
2018

川寶科技論文獎
2023

111年度產學合作成果特優教師特優獎
Sample 00007

研究主軸 Researches

平面奈米壓印

以金屬接觸轉印微影技術完成最小線寬500奈米之表面聲波...

軟性光罩微影技術

軟性光罩微影製程是以黃光微影製程技術的概念結合奈米壓印...

滾輪壓印

本實驗以創新的方法利用準分子雷射加工具有高聚光效果之微...

內滾筒微影製程技術

本實驗以創新的想法利用傳統的微影製程製作無縫的中空滾筒...

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實驗室資源 Resources

精密直流電流供應器

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空氣浴塵箱

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伺服位移平台

其功能為針對光罩上的圖形精準的對齊在基材(晶圓)上,然後再進行曝光的動作。 所以它提供了光罩及基材(晶圓)之間之精密共平面之 Z 軸及 X 、 Y 、θ 軸的相對位置調整。  

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活動花絮
Activity

合作夥伴 Partners