內滾筒微影製程技術
本實驗以創新的想法利用傳統的微影製程製作無縫的中空滾筒...
榮譽獎項 Awards
研究主軸 Researches
準分子雷射微細加工
本實驗室的準分子雷射微加工系統由三部分建構而成，分別為...
聲子晶體結構中的波傳效應
聲子晶體(PC)是由兩種材料(背景材料以及填充材料)組...
無光罩式斜掃描曝光系統
本實驗室運用數位光源處理技術(DLP)建立無光罩式光點...
產學合作
Industry-Academia Cooperation
2014 / 11 — 2017 / 10
以紫外光發光二極體為基礎之準直與均光光束投射系統開發與應用
2014 / 06 — 2017 / 08
非球面微透鏡陣列應用於開發點陣列掃描式無光罩式微影機台
2016 / 10 — 2018 / 03
光罩環射出模具之設計、製作及樣品驗證
活動花絮
Activity
合作夥伴 Partners
