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實驗室簡介
Introdution
機械工程學系
聲光電暨奈米微結構實驗室
Nano Structure and Applied Physics Lab ( NSAP )
研究方向
Researches
1. 實驗固體力學 (Experimental Solid Mechanics)
2. 超音波工程與非破壞性檢測 (Ultrasound Engineering and Non-destructive Evaluation)
3. 準分子雷射微細加工 (Excimer Laser Micromachining)
4. 奈米壓印與滾印技術 (Nano-imprinting and Roller Imprinting)
5. 無光罩式黃光微影技術 (Maskless Lithography)
6. 軟性光罩微影技術 (Soft Photomask Lithography)