設備介紹 | 聲光電暨奈微米結構實驗室

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設備介紹

設備介紹
Equipment

6吋UV LED 曝光燈

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：吳俊穎博士

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6吋積分球

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：許永昕

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8吋雙盤手動研磨拋光機

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：許永昕

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TRR雷射反射係數量測系統

Laser Reflection Coefficient Measurement System

設備位置：機械系館B2 (91Y12室)

保管人：林彥廷

量測鐳射光的反射係數

UV 光源

UV light source

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：吳俊穎博士

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UV-LED光源

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：吳俊穎博士

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UV曝光機

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：吳俊穎博士

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UV曝光燈

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：吳俊穎博士

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UV曝光裝置

UV Exposure Device

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：吳俊穎博士

波長365 nm之UV曝光燈裝置。

UV發光二極體光源

UV LED Light Source

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：吳俊穎博士

曝光用電源

Z軸及傾斜式奈米平台

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：吳俊穎博士

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三槽式超音波藥劑潤洗槽

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：吳俊穎博士

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中速切割機

Medium-speed Cutting Machine

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：許永昕

※此設備僅限代工，代工請洽保管人。

1.切割轉速： 150 ~ 2000 rpm
2.最大切割能力：直徑50 mm
3.切割壓力： 0 ~ 800 公克
4.切割方式：切割臂下壓式，結束後自動停止
5.切割厚度顯示：液晶顯示器，最小單位 0.01mm

二氧化碳雷射切割/雕刻機

CO2 Laser / Cutting Machine

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：林彥廷

※此設備僅限代工，代工請洽保管人。

CO2雷射切割機，可以穩定切割20mm以內的碳鋼，10mm以內的不鏽鋼，8mm以下的鋁合金。CO2雷射器的波長為10.6um，比較容易被非金屬吸收，可以高質量地切割木材、亞克力、PP、有機玻璃等非金屬材料，但是CO2雷射的光電轉化率只有10%左右。CO2雷射切割機在光束出口處裝有噴吹氧氣、壓縮空氣或惰性氣體N2的噴嘴，用以提高切割速度和切口的平整光潔。

伺服位移平台

Servo displacement platform

設備位置：機械系館10F (91A08室)

保管人：林彥廷

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伺服位移平台

Servo displacement platform

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：許永昕

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伺服位移平台

Servo displacement platform

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：吳俊穎博士

其功能為針對光罩上的圖形精準的對齊在基材(晶圓)上，然後再進行曝光的動作。
所以它提供了光罩及基材（晶圓）之間之精密共平面之 Z 軸及 X 、 Y 、θ 軸的相對位置調整。

伺服運動平台

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：許永昕

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伺服運動控制系統

設備位置：機械系館10F (91A08室)

保管人：許永昕

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伺服馬達

Servo motor

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：許永昕

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位移平台控制器

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：許永昕

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位移滑台

設備位置：機械系館10F (91A08室)

保管人：林彥廷

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低油量真空Pump

Low oil vacuum Pump

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：吳俊穎博士

伺服平台檯面放置載板真空吸附使用

信號擷取介面卡

設備位置：機械系館10F (91A08室)

保管人：林彥廷

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信號放大器　

設備位置：機械系館10F (91A08室)

保管人：林彥廷

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信號產生器

設備位置：機械系館10F (91A08室)

保管人：林彥廷

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信號調變模組

設備位置：機械系館10F (91A08室)

保管人：林彥廷

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儀器介面卡

設備位置：機械系館10F (91A08室)

保管人：林彥廷

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光學參數震盪器

設備位置：機械系館B2 (91Y12室)

保管人：吳俊穎博士

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光學缺陷檢測儀

Optical Defect Detector

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：吳俊穎博士

光學缺陷檢測

光學缺隙檢測儀用個人電腦

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：吳俊穎博士

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光學量測系統

Optical measurement system

設備位置：機械系館10F (91A08室)

保管人：***

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光學量測系統

設備位置：機械系館10F (91A08室)

保管人：***

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光準直量測器

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：吳俊穎博士

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八軸馬達控制模組

設備位置：機械系館B2 (91Y12室)

保管人：***

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六軸精密滑台組

設備位置：機械系館10F (91A08室)

保管人：***

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函數任意波形產生器

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：林彥廷

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力量顯示器

Force Display Device

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：吳俊穎博士

用於進行固體力學實驗。

加熱攪拌器

設備位置：機械系館10F (91A08室)

保管人：許永昕

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半自動顯影機

Develop

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：吳俊穎博士

顯影圖案

原子力顯微鏡

Atomic Force Microscope (AFM)

設備位置：機械系館B2 (91Y12室)

保管人：簡弘量博士

AFM 探針對樣品表面的狀況,針對不同操作模式下進行掃描,操作模式可分為:接觸式(contact mode)、非接觸式(non-contact mode)以及半接觸式(semi-contact mode)。通常會使用半接觸模式亦稱作輕敲模式(tapping mode),由於輕敲模式比非接觸模式的掃描距離更接近表面,掃描樣品距離約 2~10 nm,利用探針輕敲樣品表面所造成的凡得瓦力來進行回饋,同時會透過共振頻率的影響造成振幅的變化,來掃描出樣品起伏的高低。

可程式交流/直流電源

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：林彥廷

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向量網路分析儀

設備位置：機械系館10F (91A08室)

保管人：林彥廷

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四軸伺服運動平台

設備位置：機械系館B2 (91Y12室)

保管人：簡弘量博士

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垂直式移動平台

設備位置：機械系館10F (91A08室)

保管人：***

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壓力量測系統

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：吳俊穎博士

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多通道訊號擷取卡

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：林彥廷

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奈米圖形產生器

設備位置：機械系館B2 (91Y12室)

保管人：簡弘量博士

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奈米壓印機

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：吳俊穎博士

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奈米壓印機

Nano stamping

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：吳俊穎博士

將具有奈米結構之模仁，透過各種方式（如熱壓、UV 光曝照等）將此結構圖案轉印至特定材料上，使其達到大量轉印/量產化之目的

奈米定位平台

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：吳俊穎博士

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奈米定位平台控制器

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：吳俊穎博士

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奈米級高精度氣浮軸承式定位平台

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：簡弘量博士

定位平台位移時，具有最低的平面度誤差，另外可達到次微米等級的動態定位精度，以及高的速度穩定性。

射頻放大器

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：林彥廷

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射頻迴轉器

設備位置：機械系館10F (91A08室)

保管人：林彥廷

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工具檢測顯微鏡

設備位置：機械系館B2 (91Y12室)

保管人：簡弘量博士

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微反射鏡控制卡

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：吳俊穎博士

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微步進馬達趨動/控制器

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：林彥廷

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快速昇溫退火爐用鹵素燈管組

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：許永昕

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快速退火機溫控系統

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：許永昕

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應變指示及記錄器

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：***

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應變計輸入卡

設備位置：機械系館6F (91605室)

保管人：***

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扁平式大行程6吋平行曝光燈源

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：許永昕

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手動壓膜機

Manual Dry-Film Laminator

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：吳俊穎博士

撓性板料（FPC）和PCB內層乾膜製程。
The lamination process of FPC and PCB inner layer.
PCB內外層乾膜製程。玻璃基板，陶瓷基板壓膜製程。
The lamination process for PCB inner/outer layer, glass substrates, or ceramic substrates

手動式旋轉塗佈機

Spin Coater

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：吳俊穎博士

利用離心力將光阻均勻塗佈到試片。

掃描式電子顯微鏡

設備位置：機械系館B2 (91Y12室)

保管人：簡弘量博士

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掃描探針式顯微鏡控制平台

設備位置：機械系館B2 (91Y12室)

保管人：簡弘量博士

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掃描探針顯微鏡控制設備

設備位置：機械系館B2 (91Y12室)

保管人：簡弘量博士

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掌上型線性IC測試器

設備位置：機械系館10F (91A08室)

保管人：***

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探棒模組

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：林彥廷

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探針座

Probe holder

設備位置：機械系館10F (91A08室)

保管人：林彥廷

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控制器

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：吳俊穎博士

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控制器 * 3

Controller

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：簡弘量博士

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數位儲存示波器

設備位置：機械系館10F (91A08室)

保管人：林彥廷

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數位儲存示波器

設備位置：機械系館10F (91A08室)

保管人：林彥廷

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數位式示波器

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：林彥廷

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數位影像組

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：許永昕

依其聚光鏡(condenser)和物鏡(Objective)的設計，可用來觀察不同的樣品

數位影像處理器

設備位置：機械系館9F (91903室)

保管人：簡弘量博士

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數位微反射投影裝置-1

Digital Micromirror Device

設備位置：儀器設備大樓8F (95804室)

保管人：吳俊穎博士

數位光源處理技術 (Digital Light Processing™ ，簡稱DLP™ ) 是真正的數位投影和顯示技術，它能接受數位視訊，然後產生一系列的數位光脈衝；這些光脈衝進入眼睛後，我們的眼睛會把它解譯成為彩色類比影像。DLP™ 技術是以一種微機電 (MEMS) 元件為基礎，稱為數位微型反射鏡元件 (Digital Micromirror Device，簡稱DMD)