關於實驗室 About

  • 首頁
  • 關於實驗室
  • 設備介紹

設備介紹
Equipment

6吋UV LED 曝光燈

***


6吋積分球

***


8吋雙盤手動研磨拋光機

*****


Image Description

TRR雷射反射係數量測系統

量測鐳射光的反射係數


UV 光源

***


UV-LED光源

***


UV曝光機

***


UV曝光燈

***


Image Description

UV曝光裝置

波長365 nm之UV曝光燈裝置。


Image Description

UV發光二極體光源

曝光用電源


Z軸及傾斜式奈米平台

***


三槽式超音波藥劑潤洗槽

***


Image Description

中速切割機

※此設備僅限代工,代工請洽保管人。

1.切割轉速: 150 ~ 2000 rpm
2.最大切割能力:直徑50 mm
3.切割壓力: 0 ~ 800 公克
4.切割方式:切割臂下壓式,結束後自動停止
5.切割厚度顯示:液晶顯示器,最小單位 0.01mm


Image Description

二氧化碳雷射切割/雕刻機

※此設備僅限代工,代工請洽保管人。

CO2雷射切割機,可以穩定切割20mm以內的碳鋼,10mm以內的不鏽鋼,8mm以下的鋁合金。CO2雷射器的波長為10.6um,比較容易被非金屬吸收,可以高質量地切割木材、亞克力、PP、有機玻璃等非金屬材料,但是CO2雷射的光電轉化率只有10%左右。CO2雷射切割機在光束出口處裝有噴吹氧氣、壓縮空氣或惰性氣體N2的噴嘴,用以提高切割速度和切口的平整光潔。


伺服位移平台

***


伺服位移平台

***


Image Description

伺服位移平台

其功能為針對光罩上的圖形精準的對齊在基材(晶圓)上,然後再進行曝光的動作。
所以它提供了光罩及基材(晶圓)之間之精密共平面之 Z 軸及 X 、 Y 、θ 軸的相對位置調整。
 


伺服運動平台

***


伺服運動控制系統

***


伺服馬達

***


位移平台控制器

***


位移滑台

***


Image Description

低油量真空Pump

伺服平台檯面放置載板真空吸附使用


信號擷取介面卡

***


信號放大器 

***


信號產生器

***


信號調變模組

***


儀器介面卡

***


光學參數震盪器

***


Image Description

光學缺陷檢測儀

光學缺陷檢測


光學缺隙檢測儀用個人電腦

***


光學量測系統

***


光學量測系統

***


光準直量測器

***


八軸馬達控制模組

***


六軸精密滑台組

***


函數任意波形產生器

***


Image Description

力量顯示器

用於進行固體力學實驗。


加熱攪拌器

***


Image Description

半自動顯影機

顯影圖案


Image Description

原子力顯微鏡

AFM 探針對樣品表面的狀況,針對不同操作模式下進行掃描,操作模式可分為:接觸式(contact mode)、非接觸式(non-contact mode)以及半接觸式(semi-contact mode)。通常會使用半接觸模式亦稱作輕敲模式(tapping mode),由於輕敲模式比非接觸模式的掃描距離更接近表面,掃描樣品距離約 2~10 nm,利用探針輕敲樣品表面所造成的凡得瓦力來進行回饋,同時會透過共振頻率的影響造成振幅的變化,來掃描出樣品起伏的高低。


可程式交流/直流電源

***


向量網路分析儀

***


四軸伺服運動平台

***


垂直式移動平台

***


壓力量測系統

***


多通道訊號擷取卡

****


奈米圖形產生器

***


奈米壓印機

***


Image Description

奈米壓印機

將具有奈米結構之模仁,透過各種 方式(如熱壓、UV 光曝照等)將此結構圖案轉印至特定材料上,使其達到大量 轉印/量產化之目的


奈米定位平台

***


奈米定位平台控制器

***


Image Description

奈米級高精度氣浮軸承式定位平台

定位平台位移時,具有最低的平面度誤差,另外可達到次微米等級的動態定位精度,以及高的速度穩定性。


射頻放大器

***


射頻迴轉器

***


工具檢測顯微鏡

***


微反射鏡控制卡

****


微步進馬達趨動/控制器

***


快速昇溫退火爐用鹵素燈管組

***


快速退火機溫控系統

***


應變指示及記錄器

***


應變計輸入卡

***


扁平式大行程6吋平行曝光燈源

***


Image Description

手動壓膜機

  • 撓性板料(FPC)和PCB內層乾膜製程。
  • The lamination process of FPC and PCB inner layer.
  • PCB內外層乾膜製程。玻璃基板,陶瓷基板壓膜製程。
  • The lamination process for PCB inner/outer layer, glass substrates, or ceramic substrates


Image Description

手動式旋轉塗佈機

利用離心力將光阻均勻塗佈到試片。


掃描式電子顯微鏡

***


掃描探針式顯微鏡控制平台

***


掃描探針顯微鏡控制設備

***


掌上型線性IC測試器

***


探棒模組

***


探針座

***


控制器

***


控制器 * 3

***


數位儲存示波器

***


數位儲存示波器

***


數位式示波器

***


Image Description

數位影像組

依其聚光鏡(condenser)和物鏡(Objective)的設計,可用來觀察不同的樣品


數位影像處理器

***


數位微反射投影裝置-1

數位光源處理技術 (Digital Light Processing™ ,簡稱DLP™ ) 是真正的數位投影和顯示技術,它能接受數位視訊,然後產生一系列的數位光脈衝;這些光脈衝進入眼睛後,我們的眼睛會把它解譯成為彩色類比影像。DLP™ 技術是以一種微機電 (MEMS) 元件為基礎,稱為數位微型反射鏡元件 (Digital Micromirror Device,簡稱DMD)


數位螢光示波器

***


旋轉伺服平台

***


旋轉精密平台

***


普及型步進馬達控制移動平台

***


曝光機

***


校正用壓力感測器     

***


校準器

***


桌上型LCR電錶

***


桌上型數位IC測試器

***


桌上型數位儲存示波器

***


氦氖雷射

***


氧化鋯磨罐

***


水中聽音器 放大器模組

***


波形信號發生器

***


流體力學實驗設備

***


Image Description

準分子雷射系統

※此設備僅限代工,代工請洽保管人。

利用雙軸拖拉法加工大面積微透鏡陣列,搭配平行紫外光和移動平台,將紫外光束聚焦進行黃光微影製程。


準分子雷射附屬氣瓶櫃

***


無油靜音型空壓機

***


Image Description

直流電源供應器

提供DC power供給儀器或設備使用

 


真空計

***


真空電漿清潔機

***


示波器

***


示波器介面卡

***


移位平台

***


程控高溫爐

***


積分球式光功率計

***


Image Description

簡易型壓著機

用於熱壓金屬轉印製程


精密中速切割機

***


精密光學路徑調變控制卡

***


精密直流電流供應器

***


Image Description

紫外光能量計

可量測光通量(Lumen)時,可使得量測結果更為可靠;積 分球可降低並除去因光線之形狀、 發散角度、及偵測器上不同位置 之響應度差異所造成之量測誤差。

光線由輸入孔入射後,光線在此 球內部被均勻的反射及漫射,因此輸出孔所得到的光線為相當均勻之 漫射光束。而且入射光之入射角度、空間分布、及極化皆不會對輸出 之光束強度及均勻度造成影響。


統計型膜厚計

***


網路分析儀附件

***


線性運動平台

***


線性馬達

***


線性馬達

***


聲音量測儀 

***


能量檢測頭

***


能量計

***


脈衝信號發生器

***


Image Description

脈衝產生接收器

提供不同電壓或頻率之脈衝訊號


脈衝產生接收器配件訊號模組

***


自動控制步進馬達旋轉平台

****


行星式球磨機

***


訊號控制器

***


資料擷取器

***


超音波探頭

***


超音波發振機 (3槽)

***


重量顯示器

***


重量顯示器

***


金相顯微鏡

***


鐵電分析儀

***


防潮箱

***


阻抗分析儀

***


阻抗分析儀

***


Image Description

雕刻機

※此設備僅限代工,代工請洽保管人。

1.支援各類電路板製作,如:RF、微波、高頻、數位、類比…等及簡易加工治具
2.單面電路板、雙面電路板皆可製作。
3.支援各類Layout 軟體之Gerber 檔案,也接受AutoCAD DXF 檔案。
4.自動刀高偵測及電路板平面偵測功能。
5.Z軸全自動AI控制,可做0.1mm工件及3D加工


雷射CD4A-N/控制器

***


雷射位移計 * 4

***


Image Description

雷射掃描共軛交光譜顯微鏡

利用鐳射對加工物品的三維結構進行量測


Image Description

雷射系統

※此設備僅限代工,代工請洽保管人。

Nd:YAG Laser 鐳射系統


電動旋轉平台

***


電子切換器

***


Image Description

電子束蒸鍍系統

以電子束撞擊靶材的方式沉積不同金屬薄膜於基板上,最小均勻薄膜厚度100A,提供靶材金、鋁、鎳、鉑、鈦、鉻、銀。


電流棒

****


電源供應器

***


電源供應器

***


Image Description

電漿清洗機

電漿清洗的原理:

1, 正離子(如Ar+)的物理撞擊

2.特定離子與表面吸附物質的化學反應 
通入製程氣體達到清洗目的


電腦週邊DAQCARD 6024E

***


電路切換器

***


頻譜分析儀

***


頻譜分析儀擴充模組

***


顯微鏡鏡頭

***


馬達

***


馬達運動平台

***


高壓閘管

***


高密度電漿源系統

***


高穩定性 Nd:YAG 雷射系統

***


高精密伺服運動平台

***


高精密電動移動平台

***


Image Description

高解析度光學顯微鏡

1.光罩網板尺寸檢查、表面瑕疵觀察。
2.元件橫截面結構觀察。
3.半導體製程線寬量測。
4.多層結構堆疊錯位觀察。
5.差排線與過蝕刻觀察。
6.生物組織形貌觀測。
7.活細胞內部構造隨時間變化觀測。


高解析影像擷取系統 *2

***


Image Description

高解析熱場發射掃描式電子顯微鏡

本電腦化操作之高解析場發射掃描式電子顯微鏡 ,其特點為以熱場發射電子槍產生能量均 ㄧ之電子束。能提供金屬材料及電子材料等,於高倍率下之二次電子影像 (SEI)與背反電子影像(BEI)之表面型態觀察。


高速位移平台

***


Image Description

高頻任意波形產生器

可產生穩定、準確的各種 波形輸出,並具有低至 1 µHz 的解析度

80 MHz 正弦波和方波輸出 

可產生正弦波、方波、斜波、雜訊 和其他任意波形 

50 MHz 脈衝波形,具可變的上升 / 下降時間 

12 位元、200 MSa/s、64K 點的深度 任意波形


高頻光感測器

***


高頻探針*2

***


高頻探針座*2

***


高頻校正器

***


高頻超音波脈衝產生器

***


高頻轉接頭組件

***


高頻電子切換器

***