含無塵工作站、E-beam電子束蒸鍍機、金屬轉印機、Excimer Laser System、SEM電子顯微鏡、OM光學顯微晶、共軛焦雷射顯微鏡、AFM原子力顯微鏡、高速離心式脫泡機、Nd:YAG Layser System、He-Ne Laser、真空乾燥器。